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化学供应系统（CDS、DSP、DINH3）

设备构成：由本体、输送系统、排液系统、混液系统、电气控制系统等部分组成
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附属湿法设备（Parts Cleaner）

外形尺寸：L*W*H(单位mm)=2400×1300×2400mm(不含排风法兰2100mm)
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附属湿法设备（Parts Oven）

腔室尺寸：H*W*D(单位mm)=800×800×800mm 外形尺寸：H*W*D(单位mm)=1760×1760×2100mm
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附属湿法设备（Tube Oven）

腔室尺寸：H*W*D(单位mm)=1500×1200×600mm 外形尺寸：H*W*D(单位mm)=2100×2500×1500mm
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